LTCC基板材料耐酸蚀性能研究

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【摘要】

：

为适应化学镀工艺实现低成本制备, LTCC 基板材料要求具备一定的耐酸性镀液腐蚀能力. 本文研究了 CaO-B2O3 -SiO2 、 BaO-Al2O3 -SiO2 / Al2O3 、硼硅酸盐玻璃/锂辉石/ Al2O

【作者】

：

万欢欢张为军刘卓峰陈兴宇汪丰麟

【机构】

：

国防科技大学空天科学学院

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2018年11期

【关键词】

：

低温共烧陶瓷基板微晶玻璃陶瓷化学镀腐蚀

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为适应化学镀工艺实现低成本制备, LTCC 基板材料要求具备一定的耐酸性镀液腐蚀能力. 本文研究了 CaO-B2O3 -SiO2 、 BaO-Al2O3 -SiO2 / Al2O3 、硼硅酸盐玻璃/锂辉石/ Al2O3 、硼硅酸盐玻璃/堇青石/ Al2O3 四种 LTCC 基板材料在HNO3 、 HCl 和 H2SO4 溶液中的耐酸蚀性能. 采用 XRD、 EDS、 SEM、 ICP 等技术分析了腐蚀后基板的形貌和成分. 结果显示基板在强酸溶液的腐蚀下均出现不同程度的孔洞缺陷, 腐蚀程度随 H＋浓度的

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