论文部分内容阅读
在化学机械抛光过程中，抛光液中的离子浓度对化学机械抛光的速率和表面质量影响显著。为了解释化学机械抛光过程中抛光液中离子浓度的作用，利用荧光观察试验及实际抛光试验，研究抛光液中离子浓度对抛光过程的影响，并使用白光形貌仪观察抛光后表面质量。结果表明：颗粒运动速度随着抛光液中的硫酸钾浓度的增加而下降，材料去除率随硫酸钾浓度上升而提高。但是过高的离子浓度会导致表面质量下降。当硫酸钾浓度大于175mmol／L时，抛光后晶片表面出现明显缺陷。为了兼顾完成质量和去除速率，应当选用硫酸钾浓度为150mmol／L左右的抛光