【摘 要】
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采用水中抛光技术抛制了90mm×60mm×10mm的K9玻璃基片,表面粗糙度达1nm.在APS1504镀膜机上,摸索了电子束蒸发镀膜的最佳工艺条件,较稳定地在该超光滑玻璃表面上镀制了对波长
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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采用水中抛光技术抛制了90mm×60mm×10mm的K9玻璃基片,表面粗糙度达1nm.在APS1504镀膜机上,摸索了电子束蒸发镀膜的最佳工艺条件,较稳定地在该超光滑玻璃表面上镀制了对波长1054nm、入射角45°、反射率R≥99.5%的反射膜.膜层的抗激光损伤阈值可达26 J/cm2(1054nm,1ns),镀膜后该玻璃基片反射波前可达λ/10(p-v),最终制备了超高阈值pick-off反射镜.
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