【摘 要】
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类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3的亚稳态非晶碳薄膜。本文简要地介绍了DLC膜的形成原理、制备方法、发展现状,及其在机械、电子、光学、声学、生物医学等领域的应用与存在
【机 构】
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核工业西南物理研究院,核工业西南物理研究院 四川成都610041,四川成都610041
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类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3的亚稳态非晶碳薄膜。本文简要地介绍了DLC膜的形成原理、制备方法、发展现状,及其在机械、电子、光学、声学、生物医学等领域的应用与存在的问题。
Diamond-like carbon (DLC) film is a metastable amorphous carbon film containing a large amount of sp3. This article briefly introduced the formation principle, preparation method, development status and application of DLC film in mechanical, electronic, optical, acoustic and biomedical fields and its existing problems.
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