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作为光学镀膜设备中的新机型--卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜设备,是一种适用于圆柱型、圆锥型等带对称回转轴的工件外表面镀光学膜的真空镀膜设备,它解决了目前箱式光学镀膜机无法镀制这类工件的难题.
新型卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜机
【摘 要】
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作为光学镀膜设备中的新机型--卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜设备,是一种适用于圆柱型、圆锥型等带对称回转轴的工件外表面镀光学膜的真空镀膜设备,它解决了目前箱式光学镀
【机 构】
：
腾胜真空技术工程有限公司
【出 处】
：
真空电子技术
【发表日期】
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2005年6期
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