【摘 要】
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近年来，超声加工方法已经越来越多地应用于脆硬材料的加工，超声声学系统是功率超声设备的核心和关键所在，其设计的好坏直接影响到其应用的效果。在分析超声声学系统工作原理的基
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近年来，超声加工方法已经越来越多地应用于脆硬材料的加工，超声声学系统是功率超声设备的核心和关键所在，其设计的好坏直接影响到其应用的效果。在分析超声声学系统工作原理的基础上，给出了该声学系统的具体设计方案，并且专门针对硅镜超声加工声学系统进行了设计及实验。实验结果表明，所设计的声学系统性能比较稳定，换能器发热较少，效率较高。
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