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结合改良西门子法生产多晶硅工艺中，精馏装置氢化氯硅烷分离提纯塔操作控制中出现的问题，分析其影响因素，提出的操作控制优化改进措施，达到提高氢化氯硅烷分离提纯塔产品质量、稳定系统运行的目的。
氢化氯硅烷分离提纯塔控制优化
【摘 要】
：
结合改良西门子法生产多晶硅工艺中，精馏装置氢化氯硅烷分离提纯塔操作控制中出现的问题，分析其影响因素，提出的操作控制优化改进措施，达到提高氢化氯硅烷分离提纯塔产品质量、稳
【机 构】
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昆明冶研新材料股份有限公司,云南曲靖,655000
【出 处】
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中国化工贸易
【发表日期】
：
2015年13期
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