【摘 要】
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等离子体苯胺聚合膜经１００ｋｅＶ，５×１０１５Ａｒ＋／ｃｍ２或２４ｋｅＶ，１×１０１６Ｉ＋／ｃｍ２离子注入后，室温电阻率下降１２个数量级。用范德堡（Ｖａｎ－ｄｅｒ－Ｐａｕｗ）法在１７３Ｋ～３０３Ｋ温度范围内，测量了温度对注入层体电阻率的影响。实验表明，注入层内电荷载流子的输运过程可用Ｍｏｔ的可
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等离子体苯胺聚合膜经１００ｋｅＶ，５×１０１５Ａｒ＋／ｃｍ２或２４ｋｅＶ，１×１０１６Ｉ＋／ｃｍ２离子注入后，室温电阻率下降１２个数量级。用范德堡（Ｖａｎ－ｄｅｒ－Ｐａｕｗ）法在１７３Ｋ～３０３Ｋ温度范围内，测量了温度对注入层体电阻率的影响。实验表明，注入层内电荷载流子的输运过程可用Ｍｏｔ的可变自由程跳跃（ＶＲＨ）模型给以解释。根据此ＶＲＨ理论得到Ｆｅｒｍｉ能级处的态密度及电荷载流子最可能的跳跃距离。
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