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串联臂压电微电机驱动机理的研究
串联臂压电微电机驱动机理的研究
来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gyzlw21
【摘 要】
:
二级串联压电双晶片(串联臂)一端固定时,在特定的电信号控制下,自由端将沿椭圆轨迹运动.以串联臂为驱动元件,可用来驱动端面与其相接触的转子转动,构成串联臂压电微电机.研究
【作 者】
:
梁克平
邵培革
杨敬涵
王立鼎
【机 构】
:
大连理工大学
【出 处】
:
中国机械工程
【发表日期】
:
2002年6期
【关键词】
:
压电微电机
串联弯曲臂
工作原理
结构
MEMS
piezoelectric micromotorserial bending armworking princ
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二级串联压电双晶片(串联臂)一端固定时,在特定的电信号控制下,自由端将沿椭圆轨迹运动.以串联臂为驱动元件,可用来驱动端面与其相接触的转子转动,构成串联臂压电微电机.研究了串联弯曲臂压电微电机的工作原理,设想了串联臂压电微电机的结构.
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