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MEMS器件具有镂空和悬浮结构。对悬浮结构进行失效分析遇到了新的挑战。对其进行透射电镜（TEM）分析的时候,采用传统的样品制备方法会导致样品的变形甚至断裂。本文介绍了两种新颖实用的制备MEMS悬浮结构TEM样品的方法。方法一是利用玻璃针提取分离的样品,再利用聚焦离子束（FIB）来制备TEM样品;方法二是在FIB机台中原位提取L或C形切断的样品,再用常规的TEM样品制备方法制备样品。