【摘 要】
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为了实现工件平面度误差的高精度测量，在没有高精度导轨、高精度光学平面作为平面基准的条件下，根据逐次二点法误差分离原理，将传感器支架固定在刀具进给轴上，随导轨进行直线运动
【机 构】
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上海理工大学机械工程学院,日本中央大学理工学部精密机械工学科
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为了实现工件平面度误差的高精度测量，在没有高精度导轨、高精度光学平面作为平面基准的条件下，根据逐次二点法误差分离原理，将传感器支架固定在刀具进给轴上，随导轨进行直线运动，即可同时分离获得机床自身的运动误差和工件的平面度误差。实验结果表明：将逐次二点法应用到机床上，对工件平面度进行在机测量，剔除掉机床自身运动的系统误差，在精度上优于传统的接触式测量方法，并且不受测量的平面基准、工件的最大尺寸所限制。该方法不仅计算简单、快速易操作，而且更准确地反映了平面度的真实值。利用仿真和实验验证了逐次二点法对平面度的高精
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