【摘 要】
：
研究并讨论了用于微纳电子器件的电沉积铜工艺.通过在硅片上电镀铜,分析电镀时间、电流密度、温 度等参数对镀层影响,利用SEM观察形貌变化, XRD分析镀层的物质结构,四探针直
论文部分内容阅读
研究并讨论了用于微纳电子器件的电沉积铜工艺.通过在硅片上电镀铜,分析电镀时间、电流密度、温 度等参数对镀层影响,利用SEM观察形貌变化, XRD分析镀层的物质结构,四探针直流电阻测试仪测试镀层电 阻率.结果表明,当电镀液选择柠檬酸盐体系,电流密度为1 A· dm^-2,电镀液温度42A ,电镀时间为29.5 mm 时,镀铜层厚度为6 um,铜镀层结晶细小,所含杂质少,排列最致密,表面平整,导电性能良好,质量优越,适用于 微纳器件,具有很好的实用价值.
其他文献
水资源是人类生活与生产实践过程中的一种重要的物质资源。文章在分析研究水资源开发利用现状的基础上,指出合理利用以及综合开发地下水资源,能够在一定程度上有效缓解区域水
中国加入WTO后,中国卷烟行业未来面临着来自国际环境的巨大竞争压力,而为了适应此竞争形势,2002年中国烟草行业在全国范围内进行改革,工商分离便是此次改革的核心内容。此后
吉林石化公司是国有大型化工企业,享有“共和国化工长子”之称,炼油厂作为吉林石化公司下属二级单位,是以石油为加工原料,生产汽柴油和轻质化工原料为主的吉化龙头企业。近年
随着市场竞争的日益加剧,时间越来越体现出它的价值,学术界对供应链的研究的深度和广度都在不断发展,供应链上的任何角色的企业都越来越注重时间带来的价值。基于时间价值的
随着经济全球化以及我国在世界经济发展当中的地位不断提升,汉语热已经悄然兴起,越来越多的外国人开始喜欢上汉语,但是,对于汉字的学习往往成为了许多外国留学生后期运用的最
一、甘肃酒泉风电基地的基本情况(一)酒泉风能资源情况甘肃省是全国风能资源较丰富的省区之一,风能资源理论储量为2.37 亿kW,居全国第五位,10m 高度的风能资源技术可开发量约
改革开放以来,中小企业的数量和规模得到迅速发展,其在我国国民经济中起着重要作用,但是＂融资难＂却成为长期困扰着中小企业迅速发展的问题之一,该怎样做才能解决这个棘手的问题
本文是汉字激光照排的产业化为研究对象,以它的主要发明者王选作为主线探讨汉字激光照排机的产业化及产业化的实现中折射出的实践经验,最后由此得出一些启示。汉字横平竖直与
年初采用塑料大棚培育的草莓已陆续上市,草莓在水果市场上占有了一定的份额。但不少种植草莓的职工抱怨,今年的价格比去年同期下降25％左右。据多点调查,除去草莓面积扩大、产