90°视向角内窥远心测量仪的光学设计

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针对深腔内深孔、微小孔或盲孔等,由于受到腔体尺寸形状和腔体结构的限制,导致对腔体内表面的检测及腔体内孔径形位信息的检测有很大的难度,设计了一种检测腔内小孔特征以及腔内状态的内窥镜光学探头。该探头为具有90°视向角、20mm大景深、高分辨率的细径内窥镜,其放大倍率为-0.71×,最大畸变为0.5%,全视场MTF在166lp/mm处接近0.1,孔径检测精度为0.01mm,分辨率为0.005 mm,且光学系统外径小于5 mm,可用于对腔体直径范围15mm~45mm、孔径直径范围0.01mm~4mm的腔体零件内微小孔径形位信息的检测。
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