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从高端芯片厂工艺需求与污染控制的角度出发,检视目前芯片厂洁净室的设计概念后,提出另外一种洁净室设计的提案构想,以为业界参考.
一种高端芯片厂洁净室设计提案构想介绍
【摘 要】
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从高端芯片厂工艺需求与污染控制的角度出发,检视目前芯片厂洁净室的设计概念后,提出另外一种洁净室设计的提案构想,以为业界参考.
【机 构】
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亚翔系统集成科技（苏州）股份有限公司
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2014年2期
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