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在非球面干涉测量中,常用标准球面波作为测量光束,由于入射光线不垂直于被测表面,因此反射波面的波差并不能真实反映被测非球面与顶点球面的偏差,还会引起严重的测量误差。本文从理论上对这一误差进行分析和讨论。
非球面干涉测量方法的原理误差分析
【摘 要】
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在非球面干涉测量中,常用标准球面波作为测量光束,由于入射光线不垂直于被测表面,因此反射波面的波差并不能真实反映被测非球面与顶点球面的偏差,还会引起严重的测量误差。本
【机 构】
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北京理工大学工程光学系,北京理工大学工程光学系
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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1993年3期
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