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用Gorham方法沉积制备厚度为0．087mm的PC膜。将PC膜置于老化箱中热处理，时间为0～21h，温度为（180±1）℃，相对湿度为50%-70％。对热处理后的PC膜进行了X射线衍射、傅里叶红外光谱、抗拉强度，断裂伸长率、雾度、透湿率等分析。
热处理对Parylene C薄膜性能的影响
【摘 要】
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用Gorham方法沉积制备厚度为0．087mm的PC膜。将PC膜置于老化箱中热处理，时间为0～21h，温度为（180±1）℃，相对湿度为50%-70％。对热处理后的PC膜进行了X射线衍射、傅里叶红外光谱、
【出 处】
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中国工程物理研究院科技年报
【发表日期】
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2006年1期
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