【摘 要】
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采用非平衡磁控溅射设备在热解碳表面沉积氧化钛薄膜，并置于超高真空环境中进行高温退火处理。利用X射线衍射评价薄膜的晶体结构；使用台阶仪分析退火前后薄膜表面曲率变化；采用
【机 构】
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西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室,重庆工业职业技术学院科技处
【基金项目】
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国家自然科学基金(81270701)
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采用非平衡磁控溅射设备在热解碳表面沉积氧化钛薄膜，并置于超高真空环境中进行高温退火处理。利用X射线衍射评价薄膜的晶体结构；使用台阶仪分析退火前后薄膜表面曲率变化；采用纳米划痕法评价薄膜与基体之间的结合力。实验结果表明，高温退火处理不会改变氧化钛薄膜的相结构，仅使薄膜晶粒尺寸长大，结晶更完整；台阶仪扫描结果显示经过高温处理后薄膜表面发生的变形减小，显示出薄膜内应力减小；纳米划痕测试分析得出，高温退火处理可以提高薄膜与基体之间的膜基结合力。
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