【摘 要】
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集成电路的扫描电镜检测和失效分析已日益显得重要,其中关键的部分是要设计性能良好的二次电子能量分析器,为此必须借助于计算机辅助设计。迄今为止发表的文献都是在大型机上
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集成电路的扫描电镜检测和失效分析已日益显得重要,其中关键的部分是要设计性能良好的二次电子能量分析器,为此必须借助于计算机辅助设计。迄今为止发表的文献都是在大型机上进行辅助设计的。本文介绍为设计二次电子分析器编制的、可在微型机上运行的程序包的功能。程序包中包括用有限差分法求解静电场的程序,静电场可以是旋转对称的,也可以是平面对称的;用Runge-Kutta法或Hamming法计算轨迹的程序;形成绘图文件的程序;用绘图仪描绘等位线和电子轨道的程序。程序有很高的精确度,在640KB内存下,可用到多至16000个
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