【摘 要】
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对微波放电产生的平板型表面波等离予体源进行了系统介绍,分析了表面波等离子体的工作原理,探讨了维持表面波等离子体放电的能量吸收机制,介绍了由单模谐振腔阵列、亚波长衍
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对微波放电产生的平板型表面波等离予体源进行了系统介绍,分析了表面波等离子体的工作原理,探讨了维持表面波等离子体放电的能量吸收机制,介绍了由单模谐振腔阵列、亚波长衍射光栅及开槽天线阵列组成的新型波模转换器.表面波等离子体的产生机理、实现途径、参数特性和数值仿真等方面的研究进展及其所取得的成果,有利于促进新型表面波等离子体源走向产业化应用,并促使微电子产业的功效取得新的突破.
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