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中科院光电技术所研制的"URE-2000系列紫外深度光刻机"项目顺利通过成果鉴定。鉴定专家认为,该成果总体性能达到国际同类光刻机技术水平,特别在i线光刻深度方面达到国际先进水平,且拥有自主知识产权。
光电所URE-2000系列紫外深度光刻机通过鉴定
【摘 要】
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中科院光电技术所研制的"URE-2000系列紫外深度光刻机"项目顺利通过成果鉴定。鉴定专家认为,该成果总体性能达到国际同类光刻机技术水平,特别在i线光刻深度方面达到国际先进
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2007年12期
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