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报道敢用电感耦合等离子体质谱直接测定高纯氧化铕中Ｃｒ，Ｍｎ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｃｄ，Ｐｂ等杂质的方法，选择了仪器工作条件，讨论了谱干扰和基体效应。采用Ｒｈ作内标，减小了基体的影响。本法检出限为０．１２－２．２８μｇ／Ｌ，加标回收率为８８．６％－１０８．３％，相对标准偏差为３．２－７．９％，方法简便，快速。