论文部分内容阅读
本文提出并研究了新型的“台阶阴极”和“曲面阴极”真空微电子压力传感器．与普通的真空微电子压力传感器相比，新型传感器的阴极发射电流大大提高，使得输出信号易于检测，抗噪声能力增加，并在改善输出信号线性、提高灵敏度和扩展量程方面有很大优势。本文给出了计算机模拟结果，简述了台阶阶陈列阴极和阳极压力敏感膜的制作，并展示了ＳＥＭ照片。