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在聚焦形貌恢复技术中,为获取更好的恢复精度,提出了一种高精度的聚焦形貌恢复算法,该方法用零相位滤波器对窗口序列图像的评价函数值进行滤波,在消除干扰的同时,保持各空间数据点的位置不变。设计了基于切比雪夫Ⅱ滤波器的零相位滤波器;利用二次曲线的最小二乘拟合峰值位置作为窗口序列的聚焦位置,进一步提高了峰值定位精度;采用三次曲面对各个窗口序列的拟合峰值位置进行插值,进而得到被测物的全部深度信息。实验表明,本文方法的恢复平滑性和精度优于传统方法。