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期刊论文
TiO2薄膜氧敏特性研究
TiO2薄膜氧敏特性研究
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qinyongj
【摘 要】
:
金属氧化物随氧分压不同,有改变电导率这一性质而被广泛地用来制作氧敏传感器,传统的传感器大多是体材料或厚膜材料,工作时需加高温。本文描述的是TiO2薄膜材料与Pt薄膜形成的肖特基势
【作 者】
:
姚红军
汪荣昌
【机 构】
:
复旦大学材料科学系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
二氧化钛
氧敏传感器
半导体薄膜技术
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金属氧化物随氧分压不同,有改变电导率这一性质而被广泛地用来制作氧敏传感器,传统的传感器大多是体材料或厚膜材料,工作时需加高温。本文描述的是TiO2薄膜材料与Pt薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分压不同而改变的氧敏现象,测定了该肖特基二极管的氧敏特性,并讨论了它的敏感机理。
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