EXCIMER LASER ABLATING OF LIQUID CRYSTAL POLYMER

来源 :南京航空航天大学学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiongyongdezhanghao
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利用波长为248nm的KrF准分子激光对液晶聚合物材料进行了融蚀实验。系统研究了单位脉冲融蚀率及材料单位体积融蚀能量与入射激光能量密度之间的关系。结果表明,在恒定的激光能量密度下,融蚀深度与激光的脉冲数成正比。融蚀率是能量密度对数值的线形函数。单位体积融蚀能量与激光脉冲能量密度成正比。此外,由于热效应和加工所产生等离子体对激光能量吸收等因素的影响,融蚀率还与激光脉冲重复频率有关。
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