【摘 要】
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通过醇盐水解制备ＴｉＯ２微粉并用厚膜工艺制备氧敏传感器；用专门造孔技术增加了厚膜敏感体中的孔隙率；用液相掺杂热扩散工艺对多孔敏感膜进行了表面修饰，提高其催化活性，采用温度自补偿
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通过醇盐水解制备ＴｉＯ２微粉并用厚膜工艺制备氧敏传感器；用专门造孔技术增加了厚膜敏感体中的孔隙率；用液相掺杂热扩散工艺对多孔敏感膜进行了表面修饰，提高其催化活性，采用温度自补偿方法提高了器件的高温性能
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