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介绍溶胶-凝胶法制备SiO2减反膜的溶液配制，基片清洗和膜层制备过程，利用正硅酸乙酯的碱性催化水解，通过浸入移液法在石英透镜的表面涂敷一层多孔SiO2减反膜，涂膜后石英透镜的透过率在350um波长处达到98.0％以上。
紫外激光SiO<sub>2</sub>减反膜的制备
【摘 要】
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介绍溶胶-凝胶法制备SiO2减反膜的溶液配制，基片清洗和膜层制备过程，利用正硅酸乙酯的碱性催化水解，通过浸入移液法在石英透镜的表面涂敷一层多孔SiO2减反膜，涂膜后石英透镜的透过率在350um波长处达到98.0％以上。
【机 构】
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中国工程物理研究院核物理与化学研究所,成都610003
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1996年16期
【基金项目】
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