【摘 要】
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以乙酰丙酮铂为沉积源物质 ,采用金属有机化合物化学气相沉积 (MOCVD )法在Mo基体上制备了Pt薄膜。研究了Pt薄膜的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铂的加热温度和运载气体 (氩
【机 构】
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中南大学材料科学与工程学院,中南大学材料科学与工程学院,贵研铂业股份有限公司
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以乙酰丙酮铂为沉积源物质 ,采用金属有机化合物化学气相沉积 (MOCVD )法在Mo基体上制备了Pt薄膜。研究了Pt薄膜的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铂的加热温度和运载气体 (氩气 )流速等沉积参数的关系。Pt的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程 :沉积速率与绝对温度的倒数呈现抛物线关系 ,当温度为 5 5 0℃时 ,Pt的沉积速率达到最大值 ;随着乙酰丙酮铂加热温度的升高 ,Pt的沉积速率直线增加 ;而氩气流速的增大则显著减少Pt的沉积速率。SEM波谱成分分析表明 ,Pt薄膜中含有少量的氧。
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