【摘 要】
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基于Monte Carlo模型,在理想基底上设置100×100的二维方形格,利用周期性边界条件建立Cu薄膜初期生长模型,并模拟粒子的气相沉积过程及迁移步数对薄膜生长的影响规律.结
【基金项目】
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国家自然科学基金（批准号：11004016）
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基于Monte Carlo模型,在理想基底上设置100×100的二维方形格,利用周期性边界条件建立Cu薄膜初期生长模型,并模拟粒子的气相沉积过程及迁移步数对薄膜生长的影响规律.结果表明：当沉积粒子数逐渐增加时,基底表面的粒子团簇结构逐渐增大;在温度不变的条件下,随着最大迁移步数的增加,团簇逐渐增大,团簇数量逐渐减小,且团簇分布逐渐稀疏;温度升高使粒子聚集为岛状,薄膜呈岛状生长.
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