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虽然准分子和超快激光技术能够加工石英玻璃，但对于加工大面积、特征尺寸大于10μm的情况，CO2激光的高平均功率和高材料排除速率更实用。通常的CO2激光配置，由于熔融材料的喷射或辐照玻璃的位移．产生表面粗燥。
以整形CO2激光脉冲清洁烧蚀石英玻璃
【摘 要】
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虽然准分子和超快激光技术能够加工石英玻璃，但对于加工大面积、特征尺寸大于10μm的情况，CO2激光的高平均功率和高材料排除速率更实用。通常的CO2激光配置，由于熔融材料的喷射
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2003年9期
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