【摘 要】
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基于界面陷阱的定义，通过分别对亚阈值摆幅漂移和亚阈区栅电压漂移采用弛豫谱技术有效地提取了1.9nmMOS结构中的界面陷阱密度和它的能量分布，发现这两种方法提取的界面陷阱密度
【基金项目】
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国家重点基础研究发展规划 (No.G2 0 0 0 -0 3 65 0 3 ),,高校博士点基金资助项目~~
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基于界面陷阱的定义，通过分别对亚阈值摆幅漂移和亚阈区栅电压漂移采用弛豫谱技术有效地提取了1.9nmMOS结构中的界面陷阱密度和它的能量分布，发现这两种方法提取的界面陷阱密度的能量分布是自洽的，同时也与文献报道的DCIV等方法的结果是一致的。与其它的提取方法相比，采用弛豫谱技术的这两种方法更加简单和方便。
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