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针对江苏省某硅科技有限公司企业排放的单、多晶硅生产废水的特点,采用分质排放,单独预处理,其中含氟废水采用调节pH、化学反应沉淀后再混凝反应沉淀,清洗包装、压滤废水采用混凝反应预处理后两股废水混合,再采用UASB—生物接触氧化工艺进行处理。工程实践表明,出水达到《综合污水排放标准》(GB8978—1996)中的指标。该工艺处理效果优良,系统运行稳定,耐冲击负荷,运行费用较低。