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来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
为使MEMS(micro electro mechanical system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精确同步控制要求,提出了相应的计算机同步控制方法.详细讨论了同步控
【作 者】
:
谢勇君
刘世元
史铁林
来五星
白金鹏
刘胜
【机 构】
:
华中科技大学微系统研究中心
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
2005年10期
【关键词】
:
同步控制
微机电系统
动态测试
频闪
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