【摘 要】
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为了提高位置敏感探测器（PSD）的测量精度,减少其非线性带来的误差,设计了基于微位移平台的在线数据采集与校定装置,提出了基于BP神经网络的非线性校正算法,进行了数据采集和线
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为了提高位置敏感探测器（PSD）的测量精度,减少其非线性带来的误差,设计了基于微位移平台的在线数据采集与校定装置,提出了基于BP神经网络的非线性校正算法,进行了数据采集和线性化实验研究,并对线性化结果进行了误差仿真分析。实验结果表明,设计的线性化算法真实有效,采用该方法校正后PSD的最大线性度误差为3.3μm,大幅减小了PSD的非线性,在不增加成本和设备复杂度的前提下大幅提高了PSD的测量精度和数据置信度,具有很高的实用价值。
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