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清洗工艺在太阳能电池工业化生产中的应用

来源 :无线互联科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fengye1023

【摘 要】

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太阳能电池工业化生产中采用前清洗工艺，可以有效地去除硅片表面的机械损伤层，清除表面油污和金属杂质，形成起伏不平的绒面进而增加对太阳光的吸收，增加PN结面积，最终提高硅晶体太

【作 者】

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邱燕 

【机 构】

：

陕西国防工业职业技术学院

【出 处】

：

无线互联科技

【发表日期】

：

2014年6期

【关键词】

：

前清洗 后清洗 制绒 刻蚀 

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太阳能电池工业化生产中采用前清洗工艺，可以有效地去除硅片表面的机械损伤层，清除表面油污和金属杂质，形成起伏不平的绒面进而增加对太阳光的吸收，增加PN结面积，最终提高硅晶体太阳电池的光电转换效率。后清洗工艺可以有效地进行湿法刻蚀和去除在扩散过程中形成的PSG。

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