取样积分器用于检测表面及亚表面的微小缺陷

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本文论证了用取样积分器检测微小表面及亚表面缺陷的可能性。文中给出了取样积分器的工作原理,以及检测的原理、方法、结果和讨论。 This article demonstrates the possibility of using sample integrators to detect microscopic and subsurface defects. The working principle of sampling integrator and the principle, method, result and discussion of the detection are given in the paper.
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