【摘 要】
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半导体工艺类课程是高等院校电子信息类专业的重要课程之一,此类课程以半导体物理、固体物理等为基础,针对半导体类器件的制作工艺流程展开教学。半导体工艺类课程内容涉及知
【机 构】
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南京邮电大学电子与光学工程学院微电子学院
【基金项目】
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南京邮电大学校级教改项目“工程教育认证背景下专业基础核心课程评价体系的建立——以《电磁场理论与光波导技术》课程为例”(JG03318JX04),“基于CDIO工程教育理念的光电类专业毕业设计改革研究与实践”(JG10619JX15)资助
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半导体工艺类课程是高等院校电子信息类专业的重要课程之一,此类课程以半导体物理、固体物理等为基础,针对半导体类器件的制作工艺流程展开教学。半导体工艺类课程内容涉及知识面广,综合性强,在课程内容和教学方式等方面存在一些问题。本文基于成果导向教育理念(OBE),以《光电子器件工艺与设计》课程为例,分析和总结该课程存在的问题,提出该课程的教学内容、授课方式、考核方法等方面的改革策略,着力培养学生在半导体工艺技术领域的创新和实践能力。
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