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针对石英晶体谐振器的声负载敏感性，在一种三层结构力学模型的基础上，导出了具有广泛适用意义的谐振电阻及谐振频率随谐振器表面参数变化的公式，结合石英谐振式气，湿敏传感器的理论分析表明，ＱＣＲ的谐振幅值与谐振频率均可作为传感器的检测参量。
石英晶体谐振器声负载敏感性的分析
【摘 要】
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针对石英晶体谐振器的声负载敏感性，在一种三层结构力学模型的基础上，导出了具有广泛适用意义的谐振电阻及谐振频率随谐振器表面参数变化的公式，结合石英谐振式气，湿敏传感器的理
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1996年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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