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类金刚石薄膜厚度的测量

来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户：binics

【摘 要】

：

采用真空等离子沉积的类金刚石膜，它属于一种超薄性的薄膜。在诸多的测量方法中，本文采用了椭圆偏振光测量法来测量薄膜的厚度。该方法运用布鲁斯特角，并根据起偏器、栓偏器和四

【作 者】

：

袁安富 王珉 

【出 处】

：

新技术新工艺

【发表日期】

：

2000年2期

【关键词】

：

薄膜 厚度测量 PVD 真空等离子沉积 金刚石 

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采用真空等离子沉积的类金刚石膜，它属于一种超薄性的薄膜。在诸多的测量方法中，本文采用了椭圆偏振光测量法来测量薄膜的厚度。该方法运用布鲁斯特角，并根据起偏器、栓偏器和四分之一波片精确测量了薄膜的厚度。在测量薄膜厚度的同时也可知道所沉积膜的均匀性情况。

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