带内孔平面多边形的并算法

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 4次 | 上传用户：colawind

【摘要】

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电子束曝光机版图切割过程中可能出现带内孔的多边形 ,并且多边形内环与外环之间可能发生重叠。针对这种多边形 ,提出了新的基于矢量边的重复交点处理方法 ,并在此基础上给出了一个强健的多边形并算法

【作者】

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【机构】

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中科院电工研究所

【出处】

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微细加工技术

【发表日期】

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2002年03期

【关键词】

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