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二氧化钌厚膜电阻涂层电阻温度特性

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：standups_wu

【摘 要】

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以二氧化钌为导电相的厚膜电阻涂层具有电阻稳定性好和电阻温度系数低等优点,被广泛应用于厚膜集成电路。本研究分别以连续铝硅酸盐纤维增强二氧化硅(ASf/SiO₂)复合材料和氧化铝陶瓷为基材,采用丝网印刷工艺在2种基材表面印制了二氧化钌电阻涂层,并通过数字图像相关法、有限元分析法和XRD应力测定法系统研究了25~700℃范围内电阻涂层和基材之间的热匹配特性,分析了涂层的电阻温度特性。结果表明,由于电阻涂层的热膨胀系数大于ASf/SiO₂复合材料,导致烧结其上的电阻涂层

【作 者】

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李君哲 姜如 刘海韬 黄丽华 黄文质 田浩 

【机 构】

：

国防科技大学空天科学学院新型陶瓷纤维及其复合材料重点实验室,沈阳飞机设计研究所,湖南科技大学物理与电子科学学院,北京航空工程技术研究中心

【出 处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2021年5期

【关键词】

：

二氧化钌电阻涂层 ASf/SiO_(2)复合材料 热失配 残余应力 

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以二氧化钌为导电相的厚膜电阻涂层具有电阻稳定性好和电阻温度系数低等优点,被广泛应用于厚膜集成电路。本研究分别以连续铝硅酸盐纤维增强二氧化硅(ASf/SiO₂)复合材料和氧化铝陶瓷为基材,采用丝网印刷工艺在2种基材表面印制了二氧化钌电阻涂层,并通过数字图像相关法、有限元分析法和XRD应力测定法系统研究了25~700℃范围内电阻涂层和基材之间的热匹配特性,分析了涂层的电阻温度特性。结果表明,由于电阻涂层的热膨胀系数大于ASf/SiO₂复合材料,导致烧结其上的电阻涂层

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