触针式轮廓测量机构的动态分析及非线性误差的消除

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在接触式轮廓测量仪中,性能优良的测量机构是实现高精度轮廓测量的关键。本文介绍了一种新型的十字片贫弹性支承的测量机构,建立了数学模型,对该机构的动态进行了分析,并得到触针测量力变化规律。同时,通过合理设计位移传感器的安装角度,消除了测量中的非线性二次项误差,保证了测量结果的真实性。 In the contact profiler, excellent performance measuring mechanism is the key to achieve high-precision profile measurement. In this paper, a new kind of measurement mechanism of lean-elastic support for cross-shaped plates is introduced. A mathematical model is established. The dynamics of the mechanism is analyzed and the change rule of stylus measuring force is obtained. At the same time, by properly designing the installation angle of the displacement sensor, the nonlinear quadratic error in the measurement is eliminated, which ensures the authenticity of the measurement result.
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