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使用有限元方法分析表面传导电子源阴极的形貌对其阴极和栅极附近电场分布及在金属电极、真空与发射薄膜交界处电子发射轨迹的影响。对不同阴极形貌下电子发射轨迹模拟结果表明,并非所有在金属电极、真空与发射薄膜三者交界处的电子都可以到达阳极板,阳极电压、阴极高度和外形都会影响发射电子的轨迹从而影响阴极电子的发射效率,模拟发现降低电极高度、增大阳极电压、使用大半径的弧形电极可以提高电子发射效率。