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本文主要介绍了两种不同的结构和蒸发源的蒸金镀膜的方法以他们在现代半导体工业中的应用及带来的经济效果。
蒸金设备、工艺改进分析
【摘 要】
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本文主要介绍了两种不同的结构和蒸发源的蒸金镀膜的方法以他们在现代半导体工业中的应用及带来的经济效果。
【机 构】
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深圳深爱半导体有限公司
【出 处】
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中国材料科技与设备
【发表日期】
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2006年5期
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