论文部分内容阅读
化学机械抛光技术（ＣＭＰ）已成功地应用于集成电路多层结构中介质层和金属层的全局平面化。这是唯一能对亚微米级器件提供全局平面化的技术，对０．３５μｍ及以下的器件工艺是绝对必须的。ＣＭＰ面临的问题主要是难以维持高效的、稳定的、一次通过性的生产运转。
集成电路多层结构中的化学机械抛光技术
【摘 要】
：
化学机械抛光技术（ＣＭＰ）已成功地应用于集成电路多层结构中介质层和金属层的全局平面化。这是唯一能对亚微米级器件提供全局平面化的技术，对０．３５μｍ及以下的器件工艺是绝对必须的。ＣＭＰ面临的
【机 构】
：
洛阳单晶硅厂
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
1998年01期
其他文献
听力自主学习是在新一轮大学英语教学改革环境下产生的一种全新的英语听力教学模式,然而其学习效果并不明显。实证研究结果表明,听力策略培训对自主学习的效果起着重要作用。
为了探索益生菌生物添加剂对仔猪腹泻及肥育期生产性能的影响,选择健康的日龄、体重相同或相近的15～20kg的仔猪(杜、长、大)32头,随机分成4个组,每组8头,试验组每吨饲料添加1.
本刊讯《第一批非主要农作物登记目录》(简称《登记目录》)已于2017年3月28日农业部第2510号公告公布,自2017年5月1日起施行。《登记目录》包括粮食作物、油料、糖料、蔬菜、
小学阶段家校沟通现状的调查结果表明,虽然教师和家长对家校沟通的必要性已有一定的认识,但从沟通频率、目的和方式上仍存在许多问题。为促进家校之间的有效沟通,应建立家校
<正> 离子氮化最重要的特点之一,就是能够通过控制氮化气氛的成份达到控制氮化层组织的目的,从而根据氮化零件的工作条件,选择不同材料和处理工艺以获得所需要的组织和性能。
基地培训、岗位锻炼、实践造人的"三小工"轮训模式,在为基层培养聚集人才的同时,逐步解决当前营房职工队伍庞大、年龄老化、保障效率低等制约营房保障机制的瓶颈问题。
<正>花乡沭阳,琼楼崛起。城北一隅,有一个名闻遐迩的虞姬公园。好一个风景如画的去处!入得门来,只见湖光映塔影,藤廊接画桥。在花木扶疏、扬芳吐馥中,托起一尊虞姬塑像。婷然
词汇曾一度被认为是外语教学中的“灰姑娘”。近些年来,人们才逐渐认识到它在语言发展中的重要性,并就此作了很多研究。然而,在众多的词汇研究中,只有为数不多的一些研究把词
由于日语与中文的语法结构截然不同,因此在学习日语的被动态时,很多初学者在日语的主语与对象语的处理上往往容易混淆。要想熟练掌握日语的被动态用法,首先要了解被动态的形
目的:探讨中医体质辨识及干预在社区2型糖尿病患者管理中的应用效果。方法:随机选取本中心辖区内的400例2型糖尿病患者作为研究对象。按照数字随机法分为中医组200例和常规组