不同光刻胶有效曝光量的探讨

来源 :徐州建筑职业技术学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zoeshuwen88

【摘要】

：

对瑞红胶及Shipley胶制作光栅掩模时的有效曝光量进行了实验.结果表明瑞红胶全息曝光对应的感光效率只是单束光曝光感光效率的0.65倍,Shipley胶全息曝光对应的感光效率只是单

【作者】

：

张洪波张启生

【机构】

：

徐州建筑职业技术学院教务处,徐州工程机械股份有限公司技术部

【出处】

：

徐州建筑职业技术学院学报

【发表日期】

：

2011年01期

【关键词】

：

Shipley光刻胶瑞红光刻胶光栅掩模有效曝光量

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

对瑞红胶及Shipley胶制作光栅掩模时的有效曝光量进行了实验.结果表明瑞红胶全息曝光对应的感光效率只是单束光曝光感光效率的0.65倍,Shipley胶全息曝光对应的感光效率只是单束光曝光感光效率的0.8倍;且同种光刻胶的光栅掩模在不同空频的有效曝光量亦不同,即光刻胶的有效曝光量与感光效率及光栅掩模所在的空频有关.

其他文献

幼儿园教师教育权失范及规范路径构建

幼儿教师的教育权是其正常开展教育教学活动的法律保障,幼儿教师教育权保障将促进幼儿、幼儿教师以及我国幼教事业的发展。本文通过文献梳理,主要从幼儿教师教育权的价值入手

期刊

幼儿教师幼儿教师教育权失范路径构建

Nd3+/Yb3+/Tm3+共掺杂NaY（WO4）2纳米晶的制备及其上转换发光性能

采用水热法合成出Nd3+/Yb3+/Tm3+共掺杂NaY（WO4）2纳米晶。通过X射线衍射、扫描电子显微镜、红外光谱、荧光光谱等,对合成样品的晶体结构、形貌和上转换发光性能进行表征。结果

期刊

上转换发光钨酸钇钠稀土离子掺杂聚乙二醇能量传递

BIM技术在城市地下综合管廊中的应用价值分析

基于城市地下综合管廊的特点,系统分析了BIM技术在地下综合管廊的规划、设计、施工、管线入廊,以及后期运维等阶段的城市地下综合管廊全寿命周期中的应用价值。研究发现,利用

期刊

BIM城市地下综合管廊应用价值

汤因比文化形态学理论初探

期刊

汤因比文化形态学理论初探

费孝通先生“志在富民”思想与当代中国的脱贫攻坚

作为中国社会学和人类学的一代宗师,费孝通先生的研究始终立足于中国社会尤其是农村的社会-经济发展,坚持学术研究要服务社会并致力于"富民",提出社会学人类学研究应该服务于

期刊

费孝通志在富民中国农村文化脱贫攻坚

港口流动机械液压系统节能技术

港口流动机械是港口集装箱装卸机械的重要组成部分,是能源消耗的大户,文中重点对其液压系统进行了节能技术的分析和总结。分析得出了现今港口流动机械的发展方向已由原来只实

期刊

港口流动机械液压系统节能

复合型碳减排机制下企业低碳技术创新战略的博弈分析

基于低碳技术存量差异,本文构建了两类企业选择创新模式的演化博弈模型,在碳税税率与碳交易价格不同的情境下,通过数值仿真模拟了企业低碳技术创新模式的动态选择过程。研究

期刊

碳税碳交易低碳技术创新演化博弈仿真

润燥止痒胶囊联合甘草酸二铵治疗面部激素依赖性皮炎患者的疗效及相关免疫学分析

目的探讨润燥止痒胶囊联合甘草酸二铵治疗方案对面部激素依赖性皮炎(facial corticosteroid addictive dermatitis)患者免疫水平的影响。方法本研究组选择面部激素依赖性皮炎

期刊

润燥止痒胶囊甘草酸二铵面部激素依赖性皮炎免疫血清

Li+掺杂对TeO2:Tm3+/Er3+/Yb3+纳米材料上转换发光的增强作用

采用水热法制备了发白光的Li+掺杂α-TeO2∶Tm3+/Er3+/Yb3+和β-TeO2∶Tm3+/Er3+/Yb3+纳米上转换发光材料。采用X射线衍射、透射电镜和上转换发光光谱对制备的TeO2∶Tm3+/Er3

期刊

Li+掺杂上转换纳米TeO2水热法

新农村建设中的建筑设计要点

近年来,新农村建设中的建筑设计问题得到了业内的广泛关注,研究其相关课题对新农村发展有着深远巨大的意义。本文首先对现阶段农村建筑存在的问题作了全面的分析,在探讨农村

期刊

新农村建筑设计集约美观因地制宜

不同光刻胶有效曝光量的探讨

与本文相关的学术论文