【摘 要】
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用AES和XPS测量不同腐蚀剂对Pb_(0.8)Sn_(0.2)Te表面组份和价态的影响。除测量AES的组份深度分布外,还逐层测量了XPS的变化。本文提出一种简单的谱峰分离计算方法,可作出不同
【机 构】
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上海市测试技术研究所,中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所
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用AES和XPS测量不同腐蚀剂对Pb_(0.8)Sn_(0.2)Te表面组份和价态的影响。除测量AES的组份深度分布外,还逐层测量了XPS的变化。本文提出一种简单的谱峰分离计算方法,可作出不同价态Te的深度分布图。
Effect of different etchant on surface composition and valence of Pb_ (0.8) Sn_ (0.2) Te with AES and XPS. In addition to measuring the depth profile of AES components, XPS changes were also measured layer by layer. In this paper, we propose a simple calculation method of spectral peak separation, which can make the depth distribution of different valence Te.
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