【摘 要】
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半导体芯片在运行过程中散发热量.芯片的工作温度影响着其内部电路性能,更重要的是,其影响着芯片的可靠性.对半导体测试,这是一个重要问题,因为如果测试系统电子器件的温度不
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半导体芯片在运行过程中散发热量.芯片的工作温度影响着其内部电路性能,更重要的是,其影响着芯片的可靠性.对半导体测试,这是一个重要问题,因为如果测试系统电子器件的温度不能稳定在目标水平,那么产出将下降,可重复性将会劣化.如果目标温度不能保持在相对较低的水平,那么系统可靠性将明显降低.自动测试系统(ATE)采用基于空气或液体介质的冷却技术.液冷系统比风冷系统的温度稳定性要高.液冷系统的热传导效率较高,因此可以降低ATE的工作温度.
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