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LiNbO3材料的离子探针测定方法研究
LiNbO3材料的离子探针测定方法研究
来源 :质谱学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:woai6672690
【摘 要】
:
在用离子探针测定LiNbO3晶体时,电荷积累会反过来阻止一次离子束的轰击,本底噪音和多原子离子干扰会影响测定的信号。本文报道了我们的测定方法、结果和存在问题。
【作 者】
:
游俊富
【机 构】
:
上海市测试技术研究所
【出 处】
:
质谱学报
【发表日期】
:
1994年1期
【关键词】
:
铌酸锂晶体
离子探针
深度分析
LiNbO_3
crystal
SIMS
ion microprobe
depth profile determinat
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在用离子探针测定LiNbO3晶体时,电荷积累会反过来阻止一次离子束的轰击,本底噪音和多原子离子干扰会影响测定的信号。本文报道了我们的测定方法、结果和存在问题。
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