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论文首次介绍了最新的钙掺杂钛酸铋钠薄膜的金属有机溶液沉积法(MOSD法)-匀胶法甩膜(Spin coating)工艺,提出现行铁电薄膜制备工艺要解决的一些问题。
钛酸铋钠基铁电薄膜掺杂工艺研究
【摘 要】
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论文首次介绍了最新的钙掺杂钛酸铋钠薄膜的金属有机溶液沉积法(MOSD法)-匀胶法甩膜(Spin coating)工艺,提出现行铁电薄膜制备工艺要解决的一些问题。
【机 构】
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烟台大学环境与材料工程学院
【出 处】
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广西轻工业
【发表日期】
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2008年01期
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